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光源装置 投影露光装置 灯泡组件 定制产品 镜头产品
偏光露光装置

短波波长的紫外线偏光照射标准品为实验用的小型类型,材料开发用的中型类型,自定义对应的量产用扫描类型的需专门设计、制作。

特殊物镜

市场上销售的标准品物镜是无法满足客户的需求的,特别的波长和特殊的光学系统就需要订做。详情敬请咨询。照明光学系统也配合客户订做。

投影镜头

本公司光刻机ASS/MMS系列装载的标准镜头镜片,可以单独供给或照明系组合供给。大口径·一揽子曝光发挥威力的投影镜头等定制产品OEM供应。

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